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Machine à amincir les plaquettes de carbure de silicium

Machine à amincir les plaquettes de carbure de silicium

La machine d'amincissement des plaquettes de carbure de silicium est principalement utilisée pour l'amincissement des matériaux de substrat tels que les plaquettes de silicium, l'arséniure de gallium, la céramique de carbure de silicium, la céramique de zircone, le graphite, le tantalate de lithium, etc.Mots clés:Avancé, fabricants, usine, personnalisé, en stock, devis, haute précision, facile à entretenir

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Description du produit


1. Objectifs principaux de la machine à amincir les plaquettes de carbure de silicium :


Cet équipement est principalement utilisé pour l'amincissement des matériaux de substrat tels que les plaquettes de silicium, l'arséniure de gallium, les céramiques de carbure de silicium, les céramiques de zircone, le graphite, le tantalate de lithium, etc.
Rectification en plongée longitudinale.
La taille maximale de meulage peut atteindre Ï200mm, rétrocompatible.
Méthode de meulage : grâce au système de meulage à alimentation rotative de tranches, un meulage en plongée vertical est réalisé.
Type de broche : broches à turbine à air pour assurer moins de vibrations.
La puissance maximale de la broche⥠4KW.
La vitesse maximale de la brocheï¼3000r/min.
Résolution de l'axe Z⤠0,1µm.
La méthode de chargement de la table à tranches est l'adsorption sous vide.
Type de table porte-wafers : table porte-wafers en céramique poreuse.
Équipé d'un jeu de meules de correction.
Équipé d'une meule diamantée
Meule diamantée (mm): Ï200±10%
La méthode de broyage est semi-automatique/automatique, interface de fonctionnement à écran tactile, contrôle PLC, pour éviter les erreurs de fonctionnement et alarme à temps en cas d'anomalie.
La méthode de mesure d'épaisseur est une mesure d'épaisseur en boucle fermée.
Variation d'épaisseur TTV⤱5µm
La variation d'épaisseur entre les différentes feuilles WTW⤱5µm
Rugosité de la surface de finition (μm): Raâ¤0.2μm (meule 2000 #, prendre une plaquette de silicium comme exemple)




2. Mmachine Pparamètres de la Machine à amincir les plaquettes de carbure de silicium


Dimensions du disque en céramique poreuse

Ø200mm

La vitesse de la table de support (réglable en continu)

0-300tr/min

Puissance moteur châssis

1.5KW

Résolution du système de contrôle raster

0.0001mm

Vitesse de roue (réglable)

0-3000 tr/min/min

Puissance de broche de meule

5,5 kW

Parallélisme des pièces

±0.003mm

Erreur d'épaisseur de pièce

±0.003mm

Planéité de la pièce

±0.003mm

Épaisseur minimale d'amincissement de la pièce

â¥0.05mm/Φ100mm

Répétabilité de la meule

0,002 mm

Pas de réglage minimum de la meule

0,001 mm/s

Dimensions
1200*1100*2070mm
lester
1750KG



3. Équipement SconstructiondeLaMachine à amincir les plaquettes de carbure de silicium


L'équipement est principalement composé d'un cadre, d'une broche à air, d'une ventouse en céramique poreuse (applicable à différents types d'anneaux de tension), d'un motoréducteur à broche à vide, d'une broche électrique à suspension pneumatique hydrostatique, d'une meule diamantée, d'un module de guidage de vis, d'un réducteur d'harmoniques, d'une meule en ligne mécanisme de dressage, système de servocommande entièrement en boucle fermée, système de circulation du fluide de coupe et autres composants.


4. WorkingPrinciple de laMachine à amincir les plaquettes de carbure de silicium


Le produit est aspiré ettourné dans le sens des aiguilles d'une montre par le mécanisme de broche à ventouse sous vide, puis tourné dans le sens antihoraire par le mécanisme de broche motorisé à suspension pneumatique hydrostatique équipé de meules diamantées. Avec la coopération du système et du système de contrôle complet en boucle fermée, le contrôle précis du meulage de la pièce par la meule est enfin réalisé.


5. Caractéristiques du SiliconMachine à amincir les plaquettes de carbure


1).Le cadre est fait de fonte ductile de haute qualité dans son ensemble et a passé le traitement de vieillissement pendant plus de trois ans, ce qui libère essentiellement la contrainte interne du matériau.
2).La broche à vide est en acier inoxydable, qui n'est pas facilement affectée par la dilatation thermique, ce qui se traduit par la précision des dimensions de meulage.
3).La ventouse à vide adopte une céramique microporeuse comme plaque d'aspiration et une céramique d'alumine 99 comme base de ventouse, ce qui évite complètement le chauffage du fluide de meulage après traitement pendant une période de temps, ce qui entraînera la déformation thermique de la ventouse.
4).Le moteur à engrenages de la broche à vide est composé d'un servomoteur Delta et d'un réducteur spécial Delta servo.
5).Le rotor flottant à l'air de la broche électrique à suspension pneumatique hydrostatique est en céramique de zircone, ce qui évite complètement l'entrefer excessif entre les rotors à mouvement d'air causé par la dilatation du rotor flottant à l'air due à la chaleur du moteur et réduit la rigidité de la broche.
6).Module guide-vis.
7).Le réducteur d'harmoniques adopte des marques bien connues importées du Japon.
8).Mécanisme de dressage en ligne de la meule, après que la meule a été meulée pendant un certain temps, la surface de meulage de la meule sera bloquée et émoussée, ce qui réduira l'efficacité du meulage et comprimera le produit. Le dressage peut améliorer l'efficacité du broyage.
9).Système de contrôle de grille entièrement en boucle fermée : pour assurer la surveillance précise et la réparation de l'alimentation de la meule par le servomoteur, avec la coopération de ce système.
10).Système de circulation du fluide de meulage : Le fluide de meulage dans le processus de production et de traitement refroidit en continu la pièce, la meule et la broche électrique à travers le système de circulation. Le fluide de meulage peut également améliorer l'auto-affûtage de la meule.


Éléments supplémentaires facultatifsï¼
Système de mesure d'épaisseur en ligne
ï¼Avisï¼Si vous avez besoin d'installer les deux éléments ci-dessus, veuillez les indiquer avant d'acheter l'équipement.ï¼


6.L'usine de Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd.







Shenzhen Tengyu Grinding Technology Co., Ltd. était située dans le nouveau district de Guangming, à Shenzhen, en Chine, avec un capital social de 5 millions de yuans, dont la superficie de l'usine est d'environ 13 000 mètres carrés. C'est une entreprise engagée dans la technologie de meulage et de polissage de surface. La société est spécialisée dans la R&D, la production et la vente de divers équipements de meulage à plat de haute précision, d'équipements de polissage à plat, d'équipements d'amincissement à grande vitesse, d'équipements de polissage 3D et de leurs consommables de support. Ses produits sont largement utilisés dans le traitement de précision des joints mécaniques, des communications électroniques, de la céramique, des semi-conducteurs, des cristaux optiques, de l'aérospatiale, des moules automobiles, des LED, des accessoires de téléphonie mobile, du matériel et d'autres composants. La clientèle est répartie dans tout le pays et à l'étranger, et ses représentants comprennent TF, MEEYA, Tongda Group, Hanslaser et de nombreuses autres sociétés bien connues.


7. FAQ

Q1 : Êtes-vous une société commerciale ou un fabricant ?
A : Nous sommes fabricant. Nous avons notre propre usine et des techniciens expérimentés.

Q2 : Quelles sont vos conditions de paiement ?
A : T/T 30 % comme dépôt, et 70 % avant la livraison. Nous vous montrerons les photos des produits et des emballages avant de payer le solde.

Q3 : Quelles sont vos conditions de livraison et délai de livraison ?
A:EXW, FOB, CFR, CIF, DDU, etc. Généralement, cela prendra 7 à 20 jours après réception de votre paiement anticipé. Le délai de livraison spécifique dépend des articles et de la quantité de votre commande.

Q4 : Pourriez-vous fournir un support technologique ?
A : Nous sommes dans ce domaine plus de 20 ans. S'il y a un problème, veuillez nous contacter, nous vous fournirons des suggestions de notre ingénieur pour vous aider à résoudre le problème.

Q5 : Quel est le MOQ des produits personnalisés ?
A: Nous sommes fabricant et pouvons vous fournir un petit MOQ pour des produits personnalisés.

Q6 : testez-vous toutes vos marchandises avant la livraison ?
A: oui, tous les produits seront testés avant la livraison.

Q7 : Comment faites-vous de notre entreprise une relation à long terme et de bonne qualité ?
R. : Nous gardons une bonne qualité et des prix compétitifs pour assurer le bénéfice de nos clients, et nous respectons chaque client comme notre ami et nous faisons sincèrement des affaires et nous faisons des amis avec eux, peu importe d'où ils viennent.

Q8 : Y a-t-il une garantie de qualité ?
R : Nous offrons une garantie de qualité d'un an. Nous sommes responsables de la qualité de nos garnitures mécaniques.

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